Рентгеновский дифрактометр с горизонтальным расположением исследуемого образца TTRAX III
TTRAX III — прибор, созданный на основе многофункциональной D/MAX-Ultima III системы, усовершенствован заменой источника рентгеновского излучения на сверхмощный рентгеновский излучатель с вращающимся анодом. Из всех рентгеновских дифракционных систем Ригаку TTRAX III является самой передовой моделью. Прибор может легко изменять в соответствии с измеряемым образцом, техникой измерения и целью измерения: от стандартных измерений порошковых и тонкопленочных материалов до измерений In-situ с изменением температуры и влажности атмосферы; малоугловых измерений распределения зерен по размерам Low-k тонкой пленки и т.д.; In-Plane измерений для характеризации тонкопленочных образцов толщиной порядка нескольких нанометров и т.д.
Основные характеристики прибора:
- CBO (Cross Beam Optics) / Прибор оснащен оптикой перекрестных лучей. Новаторский универсальный оптический модуль позволяет чрезвычайно легко переключать различные оптические геометрии: фокусирующего метода, метода параллельного пучка многослойной пленки, малоуглового рентгеновского рассеяния, микроскопических размеров, отражения, высокого разрешения тонкой пленки, In-Plane. (Все кроме фокусирующей системы поставляется в качестве опции). Патент Японии № 3548556;
- Возможны измерения в плоскости In-Plane (Опция) Благодаря оснащению In-Plane-arm рычагом стали возможны необходимые для характеризации поверхностной структуры тонкой пленки In-Plane измерения;
- Использование высокоточного и высокожесткого гониометра с горизонтальным расположением образцов. Применяется высокожесткий гониометр с минимальным шаговым углом 1 / 10 000°. К измеряемому образцу не предъявляется никаких требований по причине его горизонтального расположения. К тому же нет загрязнений от фиксирующих материалов и искажающего эффекта, поскольку закреплять образец нет необходимости. Кроме того невыполнимые ранее измерения фокусирующего метода с использованием счетного монохроматора стали возможны в случае оснащения тонкопленочной оптической системы In-Plane-arm рычагом;
- Впервые в мире реализованы измерения малоуглового рассеяния образцов горизонтального расположения. Измерения малоуглового рассеяния с высоким P / B (пик / фон) соотношением стали возможны благодаря монохроматическим, высокой яркости входящим лучам, полученным при помощи многослойного пленочного зеркала. Работа с прибором облегчена еще и тем, что юстировка полностью автоматизирована;
- Установлено соответствующее мировым стандартам JADE программное обеспечение экспериментально-расчетного анализа XRD данных. К основанному на профилях, мощному search / match программному обеспечению подбора приложено и другое простое в использовании анализирующее программное обеспечение различного прикладного назначения вплоть до экспериментально-расчетного Ритвельд анализа;
- В качестве генератора рентгеновского излучения используется инвертер-контролируемый (с высокочастотным источником электроэнергии), источник рентгеновского излучения с максимальной мощностью 18 кВт с вращающимся анодом. По сравнению с обычной рентгеновской трубкой он позволяет получать чрезвычайно высокую мощность рентгеновского излучения;
- Прибор безопасен в использовании, поскольку оснащен стандартным оборудованием в виде кожуха защиты от рентгеновского излучения открывающееся-закрывающегося типа с надежным устройством предупреждения ошибки.